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时刻关注光刻机技术进展的孙健,如今还没有听说台积电的林博士在国际半导体研讨会上提出研发“沉浸式光刻”的设想。
“沉浸式光刻”就是在晶圆光刻胶上方加一层水,水的介质折射率是144,193n144≈134n,在不改变光刻机波长情况下,变相扩大了na,使得193n波长的能等效出134n的波长。
前世,林博士拿着这项“沉浸式光刻”方案,跑遍美国、德国、日本等国,游说各家半导体巨头,但都吃了闭门羹。
nikon警告台积电高层,让林博士“不要搅局”。
实力最差的asl决定赌一把,相比之前在传统干式微影上的投入,押注浸润式技术更有可能以小博大,于是和林博士一拍即合,仅用一年时间,就拼全力造出了还未完,请后面精彩内容!
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